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第116章 干法蚀刻

总算是给政府解释清楚了,不管他们到底相不相信,起码不会立马图穷匕现了,这是他最担心的。说实话在九几年的中国,最多的钱,也不能保证完全安全。政府还是专政机关,外资企业要好点,毕竟他们受自已国家的法律保护,一般的父母官不敢乱来。

从市委朱书记那里告辞,回到公司后,沈丹青吓得出了一身冷汗,幸亏他说服了朱书记,否则长胜投资集团就有可能止戈成沙了,这可不是开玩笑。当然啦!也幸亏这件事上了中央新闻,有可能被高层领导关注了。政府可能也有这方面的顾虑,总之这件事情算是过去了。

这件事情过后,长胜投资集团总算是过了一个坎。沈丹青也更加希望能快点将总公司搬去长沙,于是他更加频繁地向王全福了解长沙工业园的筹备情况。

王全福真是哭笑不得,才刚开始派人去,能有多大的进展,他们第一期选址都还没开始呢?因此他只好亲自上来,耐心地跟老板解释:“老板,他们还在考察地形,,总得做一个全局的规划,否则以后会顾此失彼。”

“好吧!是我心急了,你让他们仔细地规划吧!有了结果再告诉我。”沈丹青承认自己心急了,正所谓关心则乱,得好好冷静冷静了,他在心里对自已说。

“好的,老板。我有消息会第一时间告诉你的。如果没什么事,我就告辞了,公司还有一大摊子事等我处理呢!”王全福不敢说老板是乱弹琴,只是说自已很忙,言下之意就是告诉老板,不要下乱命令,耽误别人的正事。

“嗯!你回去吧!”沈丹青轻轻的挥了挥手,意兴珊阑的说道。

时间是一记很好的抚慰剂,任何坏事在它的冲刷下都会慢慢的失去威力,直至被人民淡忘。不知不觉又过了一个多月。在这段时间里,长胜投资集团旗下各企业集团和单位却都发展顺利。

首先是机械技术研究院和长胜精工,研制成功了芯片封装设备。这套设备与国外的同类设备有一点点不同,他不是采用什么传带式的流水线。而是釆用他们熟悉的轨道直线电机,上面安装自动机械臂的输送方式,等于是初级的智能机器人。自动机械臂上安装有真空吸盘,盛放硅晶圆的托盘就被牢固的吸附在吸盘上。整个输送过程,都不需要直接接触芯片,未封装的芯片是非常脆弱的,稍有不注意,就会造成机械损伤,甚至是报废。另外,他们这套设备效率非常高,是完全的自动化,不需要人工参与,因此能保证厂房里面的灰尘降到最低。整个厂房几乎是密封的,没有人员进入,灰尘当然就少了。

物理研究所的胡所长领导的离子注入机事业部,也传来了喜讯。他们终于研制出了正式的离子注入机设备。能给沈丹青报来喜讯,当然已经是非常成熟的设备了。他们还算是运气好,幸好物理研究所有现成的质量分析器和离子加速器,这两样科研设备。否则如果让他们从新研究,就不知道要研究到什么时候了。他们也算是踩在巨人的臂膀上成功的。

到了此时,就只剩自动检测程序没有完成了。沈丹青特意找卢汝成了解了一下,得知他们的任务非常困难,非短时间所能解决。于是他做出了一个决定,让这套芯片生产设备开始试制芯片,有什么问题尽量在生产中发现。用财力促进加速芯片技术的发展。前期的问题肯定很多,这些都是自动检测程序的宝贵的资料。

没有自动检测程序,需要人工检测,芯片生产速度当然非常慢。就像木桶理论所说的一样,整个生产速度只能以人工检测的速度为基准了。不过沈丹青不会在意,对长胜投资集团来说,能用钱解决的问题都不是问题。

用纳米级芯片制造设备来制造十六位元芯片,难度当然很低了,初次制造,合格率就非常高,达到了53%,不合格的芯片,不是工艺问题,而是化学蚀刻的原因。他们研究的这套化学蚀刻设备太过简单了,还缺少许多先进技术。他们釆用的是原始的自然蚀刻技术,因此造成的蚀边非常明显。化学蚀刻就是用化学药剂,溶解没有光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。如果任由它自然蚀刻,就会造成蚀边。也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。他们因为是第一次研制化学蚀刻设备,没有经验,以为只是一个纯粹的化学反应。造出来的蚀刻设备是最原始的设备,以前4位元芯片的时候,人们就是使用这种技术。到如今当然已经不适用了。

得到了化学蚀刻出现问题之后,沈丹青非常重视,他立刻召集了相关科研单位商讨对策。

说实话,他们是第一次见到这个问题。用化学方法蚀刻这么微小的图形,本来就很神奇。现在却说这种方法不行,要另想办法。这可真的难住他们了,他们一时也没有了好办法。最后还是沈丹青记起了前世的一些书上讲过,蚀刻分为湿法蚀刻和干法蚀刻。因此对他们说:“试试干法蚀刻,或许要好许多。”

“老板,什么是干法蚀刻?你能祥细的告诉我们吗?”化学研究所的所长王波就站出来问他。没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢?

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